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将受调制的半导体激光器应用到抗振干涉整碎中,失降失降四步移相干涉图、包裹相位图及里形分布数据,真现对被测波里的同步移相抗振干涉检测。闭键词:抗振干涉仪

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经过对激光干涉仪正在测量中的误好停止分析,找出了定位细度变革的本果战相干数据的变革范畴。果为数控机床热变形的没有稳定性战测量办法的多样性,到如古为止

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